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擴散泵機組系列

擴散泵系列真空機組

擴散泵系列真空機組

擴散泵系列真空機組以羅茨旋片機組作為預抽,擴散泵主體及擋板均有改進,使得在較低真空領域抽速有較大成度增加。它以油擴散泵為主泵和閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵(前級泵)等組成高真空抽氣系統,可獲得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。擴散泵系列真空機組可作為真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗裝置等高科技設備的高真空獲得裝置,以及其它需要在10-1 --10…
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